Zařízení pro odpařování elektronového paprsku

EB PVD optický lakovací stroj, aplikace: brýle, reflexní zrcadlo, mobilní telefonní deska, ochranný kryt, optická komunikace, optický displej atd.

Představení produktu

IKS-OPT2700 Elektronový odpařovací optický povlakový stroj

l Aplikace:

Brýle, reflexní zrcadlo, mobilní telefonní deska, ochranný kryt, optická komunikace, optický displej atd

l Zařízení Stručný

IKS-OPT2700 je určen pro povlaky s velkým povrchem optického filmu, je to zařízení pro odpařování elektronových paprsků. Systém nástřikového stroje se skládá z vakuové komory, vakuové pumpy, vakuové detekce a regulace, systém vytápění substrátu, odpařovací systém elektronového paprsku, systém odlučování iontovým zdrojem, systém odporového odpařování, systém sledování tloušťky filmu, kusový rotační systém a automatický nátěr řízený PLC.

Odpařovací materiál se běžně používá jako vzácné kovy, jako je fluorid yttritý, fluorid praseodymu, germanium, sulfid zinečnatý, fluorid hořečnatý, oxid titaničitý, oxid křemičitý, oxid zirkoničitý, kobalt, gallium, selén a další kovy. V optických materiálech reflektorů se běžně používají měď, molybden, křemík, germanium a jiné kovy.

Může se jednat o povrchovou vrstvu viditelného světelného filmu, hliníkové odrazné fólie, fólii s antireflexní vrstvou AF, s organickým filmem s nízkou teplotou tání, spektroskopickým filmem s viditelným světlem, s antireflexním filmem s viditelným světlem atd.

l Funkce zařízení

Systém IKS-OPT2700 s velkým povrchem optického filmového nátěru s využitím konstrukce vakuové komory s re-optimalizací, inovativním uspořádáním kryogenních čerpadel, konstrukcí rotujícího rámu stabilního obrobku, pokročilým odpařováním elektronového paprsku, nastavitelným zařízením pro přizpůsobení rovnoměrnosti a humanizovaným automatickým řízením povlakování, stabilní podtlakové procesní prostředí, získaly nejlepší povlakování a získaly kvalitní povlečené výrobky.

1. Velikost komory, Φ2700 × H1670	8. podlahová plocha: L6 × w5,5 × H3,5m
2. Vakuový stupeň: konečný vakuum: 6 × 10 ^-4 Pa ( bez zátěže 24 hodin bez topení )	9.Váha: 8000kg, hmotnost podlahy > 1000kg / m2
3. Úroveň netěsnosti: 4 × 10 ^-3 Pa × L / S (kontrola úniku helií)	10. Teplota: Při pokojové teplotě až 250 ° C je teplotní jednotnost ± 5%
4. Pracovní vákuum: 6 × 10 ^-3 Pa ( Automatické spuštění procesu )	11. Napájení: třífázové, 380V , 50Hz , 60-100KW
5.Nízké vakuum: 10 minut 10Pa	12. Chlazení vodou: průtok komory > 4000L / H , průtok čerpadla > 1800L / H, chladící kompresor > 1600L / H
6. Vysoké vakuum: 6 minut 8 × 10 ^-3 Pa	13. Teplá voda: Odpařovací zdroj1800L / H, 35-60 ℃
7. Měření podtlaku: Monitorování celého procesu a shromažďování bodů v reálném čase

l Technické parametry

Monitorování tloušťky filmu	1.PLC integrované řízení 2. Nanesení jemného filmu, 0,01nm / s 3. Rychle zralé odpovídající, spojení s elektronovou pistolí
Řízení průtoku	Řídicí rozsah: 3 ~ 100sccm , 5-500sccm, přesné propojení s iontovým zdrojem, synchronní řízení, regulace průtoku, Stabilní výkon, stabilní iontová energie je stabilní
Zdroj E-paprsku	Typ: 10KW, deformace o 270 stupních. Zvlnění méně než 0,5%, přesný tvar a velikost kontrolního bodu, stabilita provozní kontroly systému a vysoká přesnost. Typ zbraně: wolframové vlákno, trvanlivý typ
Zdroj odpařovacího odporu	Typ: Tungstenový člun se zahřívá. Množství: Dvě sady elektrod, zvolte instalaci. Vhodné pro speciální nátěry, zaměřené na funkční materiály nebo kovové materiály k dosažení funkce odpařování
Zdroj iontů	Typ: 4KW Zdroj iontové haly, dálkové světlo, široký Úhel odklonu, odpojitelná anoda, údržba a čištění je velmi jednoduché
Kontrolní systém	PC rozhraní: 17 palců, 1set. TP dotyková obrazovka: 15 omcjes.1set. Hlavní systém: IKS Automatické programovatelné logické řízení. Automatický systém řízení procesů vyvinutý společností IKS PVD, je inteligentním operačním systémem pro zaznamenávání procesů v reálném čase a zpětnou vazbu poruch. Perfektní integrace, humanizovaný design a splnění přizpůsobených potřeb pro zajištění bezpečného a inteligentního návrhu operačního systému. ovládání provozu.
Bezpečný design	Hlavní spínač ochranného obvodu, ochrana uzemnění, Abnormální alarm komponenty, Ochrana monitorování v reálném čase

l Nadřazenost produktu

Technologická inovace

1. Přiměřená integrace produktů a výsledků technologické inovace, zlepšení procesního prostředí, dosažení stabilního provozu nátěrového systému!

2. Inovace návrhu konstrukce výrobku je rozumná, pevné, stručné, údržba je vhodná! (uživatelský postoj!)

3. Vývoj inovací operačního systému a operačního systému, jednoduché ovládání, efektivní a praktické!

4. Výrobky a procesní technologie k dosažení vysoce kvalitního povlaku, zvýšení účinnosti, rovnoměrnosti, vynikající opakovatelnosti!

5. Dosáhnout inteligentní regulace provozu nátěrového systému!

6. Optimalizace bezpečnostního systému, chyba, podrobné řešení řešení!

7. Vysoká efektivita, produkce a snížení nákladů na řízení!

Technologická funkce

1. Návrh výrobku, perfektní technologií IKS a výkonnost produktu bezproblémové integrace dokování, vytvořit spolehlivý, stabilní

Pevný, bezpečný, inteligentní nátěrový systém!

2. Vakuová akumulace, re-optimalizovaná konstrukce podtlakového systému, aby vyhovovala rychlému a stabilnímu prostředí podtlaku!

3. Odpařovací zdroj a zdroj iontů, přiměřené rozvržení a vysoce kvalitní technologie zpracování, technologie uvedení do provozu, aby se dosáhlo tohoto procesu

Procesní automatické seřízení, inovační struktura elektronového svazku a přesné a stabilní ukládání materiálu zaručují přesnost!

4. Automatický systém řízení provozu, nový vývoj přesného a stabilního systému! Jednoduché nastavení, snadné ovládání!

Povlečený výrobek

opt270001