Znalost

Posouzení netěsnosti vakuového systému

Posouzení úniku vzduchu ve vakuových systémech

detekce úniku vakua

Rychlost adheze

Adsorpce

Distribuce rychlosti Maxwell

Viskózní tok

Hustota molekulárního čísla

Vakuový stupeň

Vakuová technologická terminologie

Na povrchu filmu jsou vodoznaky, otisky prstů a šedé částice

Filmová vrstva PVD vrásky a praskliny