Regulátor hromadného toku obecného určení - MKS 1179C
1179C je regulátor pro obecný hmotnostní průtok určený k měření a řízení průtoku plynů v širokém spektru aplikací. Regulátory hmotnostního průtoku 1179 jsou k dispozici s rozsahem plného rozsahu od 10 sccm do 20 slm, poskytující rychlé, opakovatelné řízení průtoku na tak nízké ...
- Představení produktu
ÚVOD
1179C je regulátor pro obecný hmotnostní průtok určený k měření a řízení průtoku plynů v širokém spektru aplikací. Regulátory hmotnostního průtoku 1179 jsou k dispozici s rozsahy plného rozsahu od 10 sccm do 20 slm, což zajišťuje rychlé a opakovatelné řízení toku až na 0,2 sccm. Může být také použit jako regulátor tlaku, když je připojen k vhodnému snímači tlaku.
Model 1179C je přímou náhradou formálních funkcí pro nejběžnější MFC na dnešním trhu. Standardní 3palcová stopa umožňuje, aby přístroj 1179C klesal přímo do stejného prostoru bez úpravy existujících plynovodů. Elektrické konektory mají stejný typ konektoru typu "D", mají stejné výstupy, signály a funkce jako jejich průmyslové protějšky, takže není nutné provést kabeláž nebo připojení konektorů. Model 1179C je kompatibilní s napájecím zdrojem MFC a zobrazovací elektronikou firmy MKS nebo jiných výrobců.
VLASTNOSTI A VÝHODY
◆ Patentovaná konstrukce 1 snímače poskytuje výjimečnou stabilitu nuly
◆ Průtok plného rozsahu se pohybuje od 10 sccm do 20 slm pro přesné a opakovatelné měření a řízení průtoku
◆ Procento plné stupnice přesnosti pro analogové konfigurace
◆ Rychlé zahřívání minimalizuje drahé provozní prostoje
◆ Kompatibilní s dřívějšími MKS MFC a napájecí / čtecí moduly
◆ Rigorózní konstrukce a testování zahrnují analýzu MTBF a testování STRIFE pro zajištění dlouhodobého výkonu
◆ Povrchová úprava zvlhčených nerezových povrchů, čisté zpracování a minimální využití elastomerových těsnění umožňují použití v náročných čistých procesech
◆ Dvouletá záruka zaručuje kvalitu a spokojenost zákazníků
STRUKTURA
Průřezový diagram řídící jednotky 1179C Mass-Flo
Přesnost toku a opakovatelnost
Výše uvedený graf zobrazuje typickou přesnost toku a opakovatelnost analogových MFC ve skupině 1179C. Měření byla prováděna s použitím kalibrátoru primárního standardního průtoku Caliblow ® Caliblow ® během 10 dnů.
Zero Stability
Výše uvedený graf ukazuje vynikající stabilitu nuly a rozpětí senzoru 1179C používaného v rodině 1179. Přístroje byly napájeny a náhodně testovány na nulové a spanové posuny v průběhu 19 měsíců.
SPECIFIKACE
| Rozsahy v plném rozsahu (ekvivalent N 2) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Maximální vstupní tlak | 150 psig | |
Normální provozní tlak Rozdíl (s atmosférickým tlak na výstupu MFC) | 10 až 5000 sccm | 10 až 40 psid |
| 10000 až 30000 sccm | 15 až 40 psid | |
| Rozsah řízení | 2% až 100% FS | |
Přesnost (analogové) (včetně nelinearity, hystereze a opakovatelnosti vztaženo na 760 mmHg a 0 ° C) | ± 1,0% FS | |
| Opakovatelnost | ± 0,2% FS | |
| Rozlišení | 0,1% FS | |
| Teplotní koeficienty | Nula | <0,05% fs="" °=""> |
| Rozpětí | <0,08%> | |
| Doba zahřívání (až do 0,2% výkonu FS v ustáleném stavu) | <2> | |
| Doba ustálení regulátoru (podle pokynů SEMI E17-91) | <2> | |
| Koeficient tlaku | <0,02%> | |
| Normální rozsah provozních teplot | 0 ° C až 50 ° C | |
| Požadováno vstupní napětí | Max. proud při startu (první 2 sekundy) | ± 15 Vss (± 5%) @ 200 mA |
| Typický proud v rovnovážném stavu | ± 15 Vss (± 5%) @ 100 mA | |
| Příkazový signál příkazového bodu | 0 až 5 VDC od <20k> | |
| Výstupní signál | 0 až 5 VDC do> 10K Ω | |
| Výstupní impedance | <1> | |
Typy konektorů Analogový | 9-pinový nebo 15kolíkový typ "D" (15-pinový konektor typu "D" je elektronicky kompatibilní s jinými řadiči průtoku MKS . Další podrobnosti naleznete v technice aplikací.) | |
| Mokré materiály | Standard | 316L SS, Viton®, nikl |
| Volitelně (těsnění a sedlo ventilu) | Buna-N, Neopren®, Kalrez® | |
| Integrita netěsností | Externí (scc / sec He) | <1 x=""> |
| Uzavřeným ventilem | <1,0% fs="" při="" vstupu="" 40="" psig="" do=""> (Pro zajištění průtoku se doporučuje samostatný uzavírací ventil.) | |
| Fitinky (kompatibilní s) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ "Swagelok | |
| Dodržování | CE | |
ROZMĚRNÉ VÝKRESY
Poznámka: Pokud není uvedeno jinak, rozměry jsou jmenovité hodnoty v palcích (referenční mm).
Populární Tagy: univerzální regulátor hmotnostního průtoku - mks 1179c, Čína, výrobce, dodavatelé, koupit, přizpůsobený, vyrobený v Číně
