Nízkotlaký regulátor hmotnostního toku PMFC - PFC-20
PFC-20, nízkotlaký regulátor hmotnostního průtoku pMFC zajišťuje maximální využití plynů bezpečného dodávek. Zavedení nízkotlakého pMFC zvyšuje provozuschopnost nástroje tím, že snižuje frekvenci změn zásobníku plynového zdroje. Nabízí přesné a přesné ovládání nízkých ...
- Představení produktu
ÚVOD
PFC-20, nízkotlaký regulátor hmotnostního průtoku pMFC zajišťuje maximální využití plynů bezpečného dodávek. Zavedení nízkotlakého pMFC zvyšuje provozuschopnost nástroje tím, že snižuje frekvenci změn zásobníku plynového zdroje. Nabízí přesné a přesné ovládání nízkých průtoků plynu v širokém rozmezí tlaků s tlakovým přívodním tlakem plynu až 4 Torr.
Tento pMFC je nejnovějším produktem MKS určeným speciálně pro zdrojové plyny SDS a VAC ®, které slouží pro průmysl implantátů iontů. Patentovaná konstrukce ventilů a snímačů nabízí výjimečnou stabilitu a přesnost pro všechny podmínky průtoku při zachování schopnosti rychle dosáhnout požadované hodnoty a opakovaně řídit tok plynu. Standardní rozměry MFC a I / O jsou kompatibilní s existujícími plynovými vedeními pro snadnou integraci a provoz.
VLASTNOSTI A VÝHODY
◆ Maximalizuje využití zdrojového plynu v systému SDS, což snižuje počet lahví, což má za následek vyšší náročnost na údržbu a nižší náklady na vlastnictví
◆ Opakovaně řídí nízké proudění plynu, což umožňuje snížit spotřebu plynu pomocí parametrů optimalizovaných pro aplikace s implantátorem
◆ Digitální regulační smyčka zajišťuje rychlou odezvu na požadovanou dobu minimalizace doby zpracování
◆ Zvyšuje čas potřebný pro údržbu nástrojů díky snížení možnosti "No Problem Found": výměny MFC
- Obsahuje integrovanou diagnostiku a software umožňující uživatelům kontrolu funkce MFC bez odstranění MFC
- E-diagnostika prostřednictvím integrovaného rozhraní Ethernet umožňuje sledování výkonových parametrů během provozu
◆ Přímá výměna funkce form-fit-funkce pro většinu běžných MFC
◆ Snižuje náklady na zásoby díky vícenásobné plynové a vícenásobné kapacitě
◆ Přímá konfigurace a diagnostika prostřednictvím rozhraní Ethernet
- Používá standardní webový prohlížeč - není vyžadován žádný speciální software
- Zahrnuje aplikaci vzdáleného počítače
◆ Jasný otočný LED displej umožňuje snadné sledování průtoku, typu plynu, plného rozsahu průtoku, teploty a adresy Ethernet
ROZMĚRNÉ VÝKRESY A PINOUTY
SPECIFIKACE
| Výkon | ||
| Rozsahy v plném rozsahu (ekvivalent N 2 ) | 2- 20 sccm | |
| Rozsah tlaku přítoku | 4 - 1200 Torr (s vakuem na výstupu) | |
| Normální provozní tlakový rozdíl (ekvivalent N 2 ) | <10 torr="" při="" průtoku="" fs="" (s="" vakuem="" na=""> | |
| Maximální čistící tlak | 150 psig | |
| Burst Pressure | 1500 psig | |
| Rozsah řízení | 2 až 100% FS | |
| Typická přesnost | ± 1% požadované hodnoty pro> 10 až 100% FS a ± 0,2% FS pro 2 až 10% FS při vstupním tlaku> 20 Torr | |
| Opakovatelnost | 0,2% FS | |
| Rozlišení | 0,1% čtení | |
Teplota Koeficienty | Nula | ± 0,08% FS / ° C |
| Rozpětí | ± 0,08% Rdg / ° C | |
Doba usazení regulátoru (podle semid. Návodu E17-0600) | <2> typické nad 10% FS při vstupních tlacích> 10 Torr | |
Doba zahřátí (do 0,2% FS ustáleného výkonu) | <30> | |
| Normální provozní teplota | 10 až 50 ° C | |
| Vlhkost při skladování | 0 až 95% relativní vlhkosti, bez kondenzace | |
| Skladovací teplota | -20 až 65 ° C | |
| Zobrazení teploty | 0 až 100 ° C | |
| Jednotky pro měření teploty | C | |
| Přesnost teploty | ± 2 ° C | |
| Rozlišení teploty | 0,1 ° C | |
| Mechanické | ||
| Příslušenství | Swagelok ® 4 VCR ® | |
| Zobrazit | 4 číslice pro hodnotu, 4 znaky pro jednotku | |
| Integrita netěsností | Externí (scc / sec He) | <1x10> |
| Prostřednictvím uzavřeného ventilu | <1,0% fs="" při="" 25="" psig="" do=""> | |
Mokré materiály Standard | 316 SS VAR (odpovídá 316 SS SCQ pro kvalitu polovodičů), 316 SS, Elgiloy, KM-45, NiTi | |
| Povrchová úprava | 5 mikroinch průměrných Ra | |
| Hmotnost | Méně než 2 libry. (0,9 kg) | |
| Elektrický | ||
| Konektory | Analog (napájení a I / O) | 9 pin D male nebo 15 pin D male |
| Diagnostika | Ethernet | |
| Vstupní napětí | 15-24 VDC ± 5% VDC při 350 mA špičce, ustálený stav 250 mA | |
| Příkazový signál příkazového bodu | 0 až 5 Vss | |
| Výstupní signál | 0 až 5 Vss | |
Populární Tagy: nízkotlaký regulátor hmotnostního průtoku pmfc - pfc-20, Čína, výrobce, dodavatelé, koupit, na míru, vyrobeno v Číně
