Princip A Použití Ion zdroje Holl

Princip a použití zdroje iontů holl

Princip práce zdroje iontů

Typ zdroje iontů

Podle iontové energie se dělí na:

Vysoká energie 200V nebo vyšší, jako například APS, RF, Kaufmanův iontový zdroj;

Síťový iontový zdroj pod nízkou energií 200ev

Děleno podle typu:

Typ Kaufman a Hall

Jak iontové zdroje pracují

V reálném hustém prostředí je plyn, který je naplněn do vakuové komory, odstraněn použitím emitovaných elektronů za interakce elektrických a magnetických polí a ionty jsou emitovány působením elektrických a magnetických polí.

Princip struktury zdroje iontů haly
Komponenty:
Katoda - emituje elektrony
Anoda - produkuje ionty
Plynová cesta - poskytuje ionizovaný plyn
Napájení

Struktura zdroje Hallových iontů

Struktura zdroje Kaufmanových iontů

Ionová energie zdroje iontů:

Zdroj rozděleného kaufmanového iontu: je napětí mezi anodou a mřížkou
Zdroj Hallových iontů: 65-70% napětí anody

IKS PVD ， IET lakovací zařízení, kontakt: iks.pvd@foxmail.com