Magnetronový naprašovací zdroj
Aug 01, 2024| Magnetronový naprašovací zdroj
Z hlediska výstupního tvaru vlny, s vývojem samotné technologie magnetronového naprašování, zažil několik způsobů stejnosměrného, unipolárního pulzu, symetrického bipolárního pulzu (středněfrekvenční magnetronový naprašovací zdroj) a bipolárního pulzu (asymetrický středofrekvenční magnetronový naprašovací výkon zásobování). V současné době je nový zdroj magnetronového naprašování vyroben technologií vysokofrekvenčního invertorového spínaného zdroje a středofrekvenční magnetronový naprašovací zdroj se stal preferovaným zdrojem pro nová magnetronová naprašovací zařízení. Pro přesné řízení tloušťky filmové vrstvy musí napájecí zdroj magnetronového naprašování pracovat stabilně a mít dobré konstantní charakteristiky. V současné době je hlavní použití režimu konstantního proudu, existuje také režim konstantního výkonu, ale zřídka se používá režim konstantního napětí. Kromě toho je významnou výhodou technologie magnetronového naprašování, že vrstva filmu je hustá a konečná úprava je dobrá. K dosažení této výhody je nutné přísně omezit počet dob podněcování a energii každého podněcování na povrchu cíle během procesu magnetronového naprašování a minimalizovat počet makroskopických částic cíle způsobených momentem podněcování, což sníží hustotu a konečnou úpravu vrstvy filmu a vážně způsobit odpadnutí filmu
Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail: iks.pvd@foxmail.com