Vysvětlení podstatného jména o vakuu

Vysvětlení podstatného jména o vakuu

IKS PVD iks.pvd@foxmail.com

1. Definice vakua

Vakuový systém je tenký objem plynu pod atmosférickým tlakem v oblasti.

2. Vakuový stupeň

Stupeň tenkosti ve vakuu se obvykle vyjadřuje jako "vysoký podtlak" a "nízký podtlak". Vysoké vakuum znamená dobré a nízké vakuum je špatné.

3. Vakuová jednotka

Obvykle se Torr používá jako jednotka a Pa je v posledních letech používán mezinárodně.

1 držák = 1/760 atmosféra = 1 milimetr rtuti

4. Přeneste mezi Tod a pa

1 paleta = 133.322 palet nebo 1 paleta = 7,5krát 10-3 palet

5. Průměrná volná cesta

Průměrná vzdálenost procházející dvěma po sobě následujícími kolizemi plynných částic v nepravidelném tepelném pohybu je označena symbolem "odlet".

6. průtok

Množství plynu protékající jakoukoli sekcí v jednotkové době, vyjádřené jako "Q", v jednotkách Pa · L / s (Pa · L / s) nebo Torr · L / s (Torr · L / s).

7. Průtokový vodič

Je to schopnost vakuové trubky procházet plynem. Jednotka je litry za sekundu (L / s) a v ustáleném stavu se průtok potrubí rovná průtoku potrubí dělenému tlakovým rozdílem mezi oběma konci potrubí. Symbol se nazývá U.

U = Q / (P2, P1)

8. Tlak nebo tlak

Síla aplikovaná molekulou plynu na jednotku plochy stěny kontejneru je vyjádřena jako P.

9. Standardní atmosférický tlak

Tlak 101325 barvy na čtvereční centimetr, symbol: (Atm).

10. Konečný vakuum

Poté, co je vakuová nádoba plně čerpána, je stabilizována při určitém stupni vakua, což se nazývá konečný vakuum. Obvykle musí být vakuová nádoba podrobena úpravě vzduchu po dobu 12 hodin a pak vakuum po dobu 12 hodin. Poslední hodina se měří každých 10 minut. Průměrná hodnota desetinásobku je považována za mezní hodnotu vakua.

11. Čerpací rychlost

Při určitém tlaku a teplotě se plyn čerpaný z vstupu čerpadla v jednotkách času nazývá rychlost čerpání nebo rychlost čerpání. Sp = Q / (p-p0).

12. Termokomplexní vakuometr

Vákuový měřič používaný k měření stupně vakua pomocí elektrického potenciálu termočlánku vzhledem k teplotě topného tělesa a teploty prvku vzhledem k tepelnému vedení plynu.

13. Ionizační vakuový měřič (ionizační přístroj pro horkou katodu)

Skládá se z trubkového sběrače, mřížky a vlákna umístěného ve středu mříže. Trubkový sloup kolektoru je mimo mřížku. Molekuly ionizovaného plynu s emisemi elektronů horké katody, ionty jsou shromažďovány kolektorem podle velikosti shromážděného iontového proudu pro měření tlaku plynu vakuometru.

14. Kompozitní vakuometr

Skládá se z vakuového měřidla s termočlánkem a vakuového měřicího zařízení s ionizačním zařízením pro horkou katodu, rozsah měření je ~ 10-5 Pa.

15. ionizační rozchod studené katody

Na obou koncích anodové trubice je umístěna dvojice katodových desek pod působením vnějšího magnetického pole, přičemž uvnitř anodové trubky je vytvořen paninový výboj pro vytváření iontů a vakuometr tlaku plynu je určen podle velikosti iontů průtok shromážděný katodovou deskou.

16. Odrušovací vakuometr

Vákuový měřič, který měří stupně vakua pomocí můstkového okruhu, přičemž se používá principu, že odpor topného prvku souvisí s teplotou a teplotou prvku, se vztahuje k vedení plynů.

17. vakuometr McLeod (kompaktní vakuometr)

Plyn, který se má měřit, se stlačí na velmi malý objem s rtutí (nebo olejem) a pak se porovná s rozdílem kapalné kolony mezi otevřenou a uzavřenou trubicí.

18 a B - měřidlo

Jedná se o ionizační měřič horké katody s inverzí kolektoru. Kolektorová elektroda je vlákno umístěné ve středu mříže a vlákno je umístěno mimo mřížku, čímž se snižuje náraz měkkého rentgenového záření.

19. Vývěva z vodního kroužku

Oběžné kolo čerpadla se otáčí a vytváří vodní kroužek. Jedná se o mechanické vakuové čerpadlo, které pumpuje vzduch v důsledku pravidelné změny objemu mezi vodním kroužkem a čepelí v důsledku otáčení excentricity rotoru.

20. Vratná vakuová pumpa

Jedná se o mechanické vakuové čerpadlo, táhne vzduch vratným pohybem pístu.

21. Mechanické vakuové čerpadlo olejového těsnění

Mechanické vakuové čerpadlo s olejem pro udržení těsnění lze rozdělit na pevný typ, rotační, posuvný typ ventilu, trochoidní typ a tak dále.

22. Podtlakové čerpadlo Roots

Mechanické vakuové čerpadlo s dvojicí synchrónních vysokorychlostních rotorů s rotujícími botami, toto čerpadlo nemůže být samostatně čerpáno, olejové těsnění, vodní kroužek a další vývěvy mohou přímo vyčerpat atmosféru.

23. Turbo-molekulární vakuové čerpadlo

K dispozici je vysokorychlostní rotační oběžné kolo. Když se molekuly plynu srazí s vysokorychlostní rotující lopatou turbíny, jsou poháněny do vývodu a poté jsou odstraněny předním čerpadlem.

24. Vývěva na olejové vývěvy

Z trysky difuzního čerpadla je vytlačován vysokorychlostní proud páry. Pod podmínkou molekulárního průtoku se molekuly plynu kontinuálně rozptýlují do proudu páry a jsou parním pásem stlačeny k výstupu čerpadla krok za krokem a poté vyřazeny z předchozího čerpadla.

25. Nízkoteplotní vakuové čerpadlo

Vakuové čerpadlo slouží k kondenzaci adsorpčního plynu na nízkoteplotním povrchu pod 20K.

26. Studená lapač (vodní přepážka)

Zařízení umístěné mezi vakuovou nádobou a čerpadlem pro absorpci plynu nebo zachycení olejové páry.

27. Vzduchový balastní ventil

Mechanické olejové těsnění vákuové čerpadlo na kompresní komoru otevřít malý otvor a nastavit regulátor a nastavit hlasitost při otevření ventilu, rotoru na určitém místě, prošel tento otvor s komorou stlačeného vzduchu pro snížení kompresního poměru, takže aby se co nejvíce páry kondenzovalo z uzavřeného čerpadla se smíšeným plynem v roli ventilu se nazývá plynový balastní ventil.

28. Sušení vymrazením podtlakem

Sušení vymrazováním pod vakuem, známé také jako sublimační sušení. Myšlenka je zmrazit materiál tak, aby voda, kterou obsahuje, se změní na led, a pak sublimovat led ve vakuu, aby se vyschl.

29. Vákuové odpařování

Ve vakuovém prostředí je zahřívání a nanášení materiálu na substrát nazýváno vakuovým odpařováním nebo vakuovým povlakem.

30. Sušení ve vakuu

Jedná se o způsob sušení předmětů s použitím bodu s nízkým bodem varu ve vakuu.

31. Obecný název pro vakuový systém

(1) hlavního čerpadla: ve vakuovém systému je podtlakové čerpadlo používané k získání požadovaného stupně vakua pro splnění specifických požadavků na proces, jako je olejové difuzní čerpadlo ve vakuovém lakovacím stroji, hlavní čerpadlo.

(2) čerpadlo předního stupně: vakuové čerpadlo používané k udržování tlaku vakuového čerpadla na předním stupni pod jeho kritickým předním stupněm. Rotorové čerpadlo nebo čerpadlo posuvného ventilu, jako u čerpadla kořenů, je přední čerpadlo.

(3) hrubé čerpadlo: vakuové čerpadlo, které začne čerpat vzduch pod atmosférickým tlakem, a poté pumpuje systémový tlak na jiné vakuové čerpadlo a začne pracovat. Jako zařízení pro vakuové lakování v čerpadle posuvného ventilu je hrubé olejové čerpadlo.

(4) čerpadlo pro údržbu: ve vakuovém systému je objem vzduchu velmi malý a přední čerpadlo nemůže být efektivně využito. Za tím účelem má malá kapacita pomocného čerpadla k udržení hlavního čerpadla, toto čerpadlo se nazývá čerpadlo pro údržbu. Pokud je na výstupu difuzního čerpadla umístěno malé rotační lopatkové čerpadlo, je to čerpadlo pro údržbu.