Měřič průtoku
Hmotnostní průtokoměr D07-7KM Úvod Hromadný průtokoměr (MFC) se skládá ze tří základních zařízení: snímače průtoku, obtokového děliče a desky s plošnými spoji, přesně měří hmotnostní průtoky a objem plynu se mění kvůli teplotním změnám. MFC je široce používán v polích ...
- Představení produktu
Úvod
Hromadný průtokoměr (MFC) se skládá ze tří základních zařízení: snímače průtoku, obtokového dělícího obtoku a desky s plošnými spoji, přesně měří hmotnostní průtoky a objem plynu kolísá kvůli teplotním změnám. MFC je široce používán v oblastech výroby polovodičů a IC, speciálních materiálů, chemického průmyslu, petrolejářského průmyslu, farmaceutického průmyslu, ochrany životního prostředí, výzkumu vakuového systému atd.
Typická aplikace
Typické aplikace MFC zahrnují mikroelektronické procesní zařízení jako je difúze, oxidace, epitaxe, CVD, plazma, leptání, rozprašování, iontová implantace a další pole, jako je zařízení pro vakuové depozice, tavení optických vláken, mikroreakční zařízení, , systém kontroly kapilárního toku, plynový chromatograf a další analytické přístroje.
D07-7KM MFC má výhody vysoké přesnosti, dlouhé životnosti, vynikající opakovatelnost, rychlá odezva, měkký start, dobrá spolehlivost, široký rozsah provozních tlaků (dobrý provoz ve vysokém nebo vakuovém stavu), snadné a pohodlné ovládání atd. Je možné jej instalovat tam, kde je to potřeba, a připojeno k počítači, aby bylo možné provádět automatické ovládání.
Specifikace
Rozsahy toku | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
Přesnost | ± 1,5% FS |
Linearita | ± 1% FS |
Opakovatelnost | ± 0,2% FS |
Doba odezvy | ≤ 4 s |
Teplotní koeficient | Nulový: ≤ ± 0,1% FS / ℃; Rozsah: ≤ ± 0,2% FS / ℃ |
Maximální tlak | 3MPa |
Provozní teplota | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Materiál těsnění | Viton, Neopren |
Nastavení / Výstupní signál | 0V ~ + 5,00V (Vstupní impedance> 100K, výstupní proud ≤3ma) |
Zdroj napájení | + 15V 50mA -15V 50mA |
Elektrické připojení | D sub 15 kolíků Žena |
Diferenciální tlak | <0,01> |
Úniková rychlost | 1 × 10-8 atm • cc / s (1 × 10-9 Pa • m3 / s He) |
Standardní spoj | Swagelok Φ8, Swagelok Φ6, Swagelok Φ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (Vnitřní) × 1 Hadicový spojka, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 " |
Média | Vše plyn |
Emi | CE |
Hmotnost | 0,92 kg |
Rozměr instalace
