Rychlost extrakce metanu Iontovým čerpadlem

Rychlost extrakce metanu pomocí iontové pumpy

Metan je jedním z hlavních důvodů zeslabení paprsku urychlovače. Jako produkt reakce mezi vodíkem a uhlíkem v kovových materiálech je metan běžným zdrojem plynu v systémech s ultravysokým vakuem.
Přestože metan není inertní plyn, nereaguje s žádným getrem, ani nereaguje s katodovým materiálem rozprášeným v iontové vývěvě, takže běžná bipolární iontová vývěva nemá téměř žádnou rychlost čerpání metanu, podobně jako proces inertního plyn, chtějí čerpat metan, museli jsme pohřbít účinnější iontová čerpadla StarCell a Noble Diode.
V důsledku Penningova výboje v iontové pumpě dochází k praskání molekul metanu (stejně jako jiných molekul uhlovodíků) a jejich přeměně na menší částice (C, CH3,... H), u kterých je vyšší pravděpodobnost, že budou „odčerpány“ a iontová pumpa StarCell bude čerpat metan a lehké uhlovodíky ještě rychleji než dusík.

Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail: iks.pvd@foxmail.com