Základní princip magnetronového naprašování
Mar 25, 2023| Základní princip magnetronového naprašování
Magnetronové naprašování je použití magnetického pole k vázání pohybu elektronů, zlepšení rychlosti ionizace elektronů. Ve srovnání s tradičním naprašováním má dvě hlavní charakteristiky: „nízká teplota (zvyšuje počet kolizí, energie elektronů postupně klesá a na anodu dopadá až po vyčerpání energie)“ a „vysoká rychlost (zvýšení dráhy pohybu elektronů, zlepšení rychlosti ionizace, ionizace více iontů bombardujících cíl).
Základní princip zvyšování rychlosti naprašování prostřednictvím magnetických polí vynalezl Penning před více než 60 lety a později jej vyvinul Kay a další, což vedlo k vývoji naprašovacích pistolí a válcových zdrojů magnetického pole. Planární magneto struktury byly představeny v Chapin v roce 1979.
Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail: iks.pvd@foxmail.com