Struktura a schematický diagram molekulární pumpy

Jádrové složky molekulární pumpy jsou rotující lopatky a stacionární lopatky (obrázek 1). Rychlost otáčení rotující lopatky dosahuje rychlosti 1800 až 90000 ot / min, rychlost na špičce lopatky dosahuje několika set metrů za sekundu, což je blízké průměrné rychlosti molekuly. A molekuly plynu se dopravují do výfukového otvoru kolizí s ním. Když se otáčející se čepel, který je nastaven tak, že se otáčí vysokou rychlostí, pravděpodobnost, že se molekuly plynu pohybují ze strany sání na stranu výfuku, je pravděpodobnost, že se molekuly plynu pohybují z výfukové strany na stranu sání je B. Otáčející se čepel narazí na molekuly plynu, pak molekuly plynu dopadnou na pevnou čepel a letí na další rotující čepel, nakonec se molekula plynu vysune do výfukového otvoru a A> B dosáhne funkce výfukového plynu.

Rychlost výfuku molekulového čerpadla = Otevírací plocha sací strany × 11,6 × A / Bp

Ve vzorci p znamená zvýšení hodnoty tlaku.

Čím větší je úhel čepele, tím vyšší je rychlost výfuku menší než kompresní poměr. Pokud je úhel čepele malý, rychlost výfukového plynu je nízká a kompresní poměr je velký. Rychlost výfuku molekulárního čerpadla téměř není ovlivněna typem plynu a maximální tlak čerpadla může být 10-8 Pa, avšak rychlost výfuku bude snížena pro molekuly / atomy světla.

Jako druh mechanického čerpadla s vysokou rychlostí otáčení vyžaduje molekulární čerpadlo vysokou rovnováhu a je velmi křehká vůči pevným cizím látkám. Takže obvykle je na jeho vstupu instalován kovový filtr. Při práci s molekulární pumpou se mohou lišty poškodit, pokud se tlak náhle zhorší.

Obr. 1 Struktura a schematický diagram molekulárního čerpadla

Konvenční molekulová čerpadla používají ložiska k zajištění vysokého otáčení lopatek. Nové molekulové čerpadlo však přijímá magnetickou levitační strukturu, díky níž se rychlost listu nepřetržitě zvyšuje, a současně je molekulární čerpadlo vhodnější pro ultra-vysoký vakuový systém, a také prodlužuje životnost molekulární čerpadlo.

Ve srovnání s rotačními lopatkovými čerpadly uzavřenými olejem a turbovrtulovými suchými čerpadly má molekulární čerpadlo čistší pracovní prostředí a může dosáhnout extrémně vysokého stupně vakua. Molekulární čerpadla však nemohou pracovat při atmosférickém tlaku a musí být používána v kombinaci s jinými hrubými vývěvy (rotační lopatková čerpadla nebo turbo-suchá čerpadla uzavřená olejem), která mohou pracovat při atmosférickém tlaku. Molekulární čerpadlo má složitou strukturu a vysokou cenu a během vysokorychlostního otáčení dochází k vibracím.