Vakuové a tlakové řídicí systémy PECVD

PECVD Vakuové a tlakové řídicí systémy zahrnují mechanická čerpadla, molekulární čerpadla, ventily pro hrubou extrakci, přední ventily, šoupátka, vakuometry atd. Aby se snížil vliv dusíku, kyslíku a vodní páry na proces depozice, vakuový systém obecně využívá suché čerpadlo a molekulární čerpadlo pro čerpání, suché čerpadlo pro čerpání nízkého vakua, ve srovnání s běžně používaným mechanickým olejovým čerpadlem, může zabránit oleji a plynu v olejovém čerpadle do vakuové komory, aby znečistil substrát. Poté, co je suché čerpadlo čerpáno pod určitý tlak, otevře se šoupátko a vysoké vakuum je čerpáno molekulárním čerpadlem. Molekulární pumpa se vyznačuje silnou vakuovou čerpací kapacitou, zejména schopnost odstraňovat vodní páru je velmi silná.

Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail: iks.pvd@foxmail.com