Počáteční znalost procesu vakuového odpařování
May 23, 2019| Počáteční znalost procesu vakuového odpařování
Hlavní součásti struktury vakuového odpařovacího zařízení jsou následující: \ t
(1) vakuová komora, která zajišťuje potřebný stupeň vakua pro odpařování a zabraňuje oxidaci materiálů během odpařování; (2) odpařovací zdroj a odpařovací ohřívač, který se používá hlavně k umístění odpařovacích materiálů a jejich ohřívání; (3) substrát pro přijímání odpařovacích látek a vytváření pevného odpařovacího filmu na jeho povrchu; (4) ohřívač základové desky, používaný k ohřevu základní desky; (5) zařízení pro měření teploty je zařízení pro měření teploty termočlánku.
Vakuové odpařování se skládá z následujících postupů. 1. Proces ohřevu a odpařování, včetně fázového přechodu z kondenzované fáze do plynné fáze (pevná fáze, kapalná fáze nebo plynná fáze). Když se sloučenina odpařuje z každé látky při jiné teplotě a při jiném tlaku nasycených par, vzájemně reagují její složky, z nichž některé vstupují do odpařovacího prostoru jako plynné nebo parní. Transport odpařených atomů nebo molekul mezi zdrojem odpařování a substrátem. Počet kolizí mezi těmito částicemi a zbytkovými molekulami plynu ve vakuové komoře během letu prostoru závisí na počtu kolizí mezi molekulami plynu odpařených atomů, průměrnou volnou dráhou odpařených atomů a vzdáleností mezi atomy plynu. odpařeného zdroje a substrátu. 3. Proces, při kterém jsou odpařené atomy nebo molekuly uloženy na substrátu, tj. Proces kondenzace par, nukleace, růst jader a tvorba kontinuálních tenkých vrstev. Protože teplota substrátu je mnohem nižší než teplota odpařovacího zdroje, dochází k fázovému přechodu molekul sedimentu přímo na povrchu substrátu z plynné fáze do pevné fáze.
V procesu vakuového odpařování má rozhodující úlohu vakuové prostředí pro odpařovací povlak, protože odpařování atomů nebo molekul se srazí s velkým počtem molekul vzduchu, znečištění membránové vrstvy, vytváření oxidového nebo dokonce odpařovacího zdroje je zahřívané oxidační spalování nebo v důsledku molekul vzduchu s kolizními bloky, které je obtížné vytvořit homogenní kontinuální tenký film. Je tedy důležité mít stabilní vakuum a proces odpařování zahrnuje také teorii tlaku materiálu nasycených par. Takže také potřebujete vědět něco o tlaku par nasycení, abyste porozuměli procesu odpařování.
IKS PVD ， odpařovací nátěrové zařízení ， kontakt ： iks.pvd@foxmail.com
