Vliv parametrů procesu magnetronového naprašování -N2 průtok

Vliv parametrů procesu magnetronového naprašování - průtok N2

Chemické složení, mikrostruktura a různé vlastnosti kvartérního povlaku (Cr,Ti,Al) N lze upravit změnou průtoku N2. Výzkumníci zjistili, že se zvýšením průtoku N2 se také zvýší obsah N a obsah tvrdé nitridové fáze (Cr,Ti,Al) N povlaku a také tvrdost, modul pružnosti, únosnost a vazebná síla na bázi filmu. povlak se také odpovídajícím způsobem zvýší, což může účinně snížit drsnost povrchu, faktor tření a rychlost opotřebení povlaku. Výrazně zlepšit odolnost povlaku proti opotřebení [57-58]. S dalším zvyšováním průtoku N2 se však zvyšuje rozprašovací tlak, snižuje se průměrná volná dráha iontů a zvyšuje se ztráta energie iontů, což ovlivní kvalitu krystalizace a strukturu tvorby filmu povlaku, což má za následek snížení tvrdost povlaku [59]. Výzkumníci také zjistili, že se zvyšujícím se průtokem N2 vykazovala rychlost depozice kvartérních povlaků (Cr,Ti,Al)N trend nejprve rostoucí a poté klesající [60]. Je to proto, že zvýšení průtokové rychlosti N2 zvýší stupeň reakce cílových částic s N2, a tedy zvýší rychlost nanášení povlaku. Zvýšení průtoku N2 však také zvýší tlak rozprašování a zvýší se rozptylový účinek svazku částic (včetně rozprašovacích částic bombardujících cíl a usazených částic na povrchu tvořícím film), což povede ke snížení počtu nanesené částice dosáhnou povrchu substrátu za jednotku času, takže rychlost nanášení povlaku bude také vykazovat klesající trend. Příliš vysoký parciální tlak N2 navíc povede k tvorbě více nitridových fází na povrchu terče, což zvýší stupeň otravy terče, což ovlivní i rychlost depozice povlaku.

Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail: iks.pvd@foxmail.com