Faktory ovlivňující rychlost rozprašování

Faktory ovlivňující rychlost rozprašování

1. Typy dopadajících částic
Čím vyšší je hmotnost dopadající částice, tím vyšší je rychlost rozprašování

2. Energie dopadajícího iontu
Poté, co dopadající částice překročí práh rozprašování, jak se zvyšuje energie dopadajících částic,
Před méně než 150eV je rychlost rozprašování úměrná čtverci energie dopadající částice,
Změna není zřejmá v rozsahu 150-10 kev,
Incidentní energie stále roste, rychlost rozprašování bude vykazovat klesající trend

3. Úhel dopadu
Úhel úhlu je 0-60 ° a rychlost rozprašování se zvyšuje s úhlem
Rychlost rozprašování prudce poklesne, pokud se stále zvyšuje maximální dopad úhlu
Úhel úhlu je 90 ° a rychlost rozprašování je 0

4. Typy a struktury cílových materiálů
Rychlost rozprašování obecně vzrůstá se zvyšováním atomového čísla cíle .

IKS PVD ， rozprašovací vakuové lakovací zařízení, kontakt: iks.pvd@foxmail.com