Stručný popis PVD povlaku Sputtering systému a řídícího systému
Feb 10, 2018| 
Rozprašovací systém
Systém rozprašování je jádrem PVD povlaku, který sestává z cílů , cílového napájecího zdroje a speciálního plynu. Existuje mnoho druhů cílových zdrojů energie a přicházejí v několika odrůdách níže:
1. Podle výstupního režimu jsou napájeny stejnosměrným napájením , střídavým napájením (sinusová vlna, čtvercové vlny), impulsním napájením a stejnosměrným impulzním napájením ;
2. Podle výstupní frekvence jsou napájeny stejnosměrným napětím , nízkofrekvenčním napájením a středně frekvenčním napájením ;
3. Podle výkonu jsou nízké napájecí zdroje, napájení středním napájením, vysoký výkon a super napájení;
4. Podle režimu ovládání je napájecí zdroj konstantního proudu, napájecí zdroj konstantního napětí a konstantní napájení.
Kontrolní systém
Řídící systém je duše celého zařízení, řídí provoz celého systému. Řídící systém se skládá ze softwarového operačního systému, systému pro sběr dat, systému analýzy dat a výkonného přenosového systému a tak dále. Mezi nimi se shromažďuje systém shromažďování dat, průtok (parní), vakuový tlak, otáčky motoru, poloha ventilu a další informace. Kromě toho, operační systém softwaru a systém pro analýzu dat jsou PLC ve většině případů. Vysoce výkonná přenosová soustava se skládá z různých relé, stykačů, solenoidních ventilů, spínačů atd.