Princip činnosti a schéma kryogenního čerpadla
Jun 12, 2019| Princip činnosti a schéma kryogenního čerpadla
Principem činnosti kryogenního čerpadla je odvádění plynů fyzikální adsorpcí na povrch s velmi nízkou teplotou.
Kryogenní čerpadlo může dosáhnout extrémně vysokého vakua (10-11 Pa) a má výhody rychlé rychlosti výfuku, bez oleje a neomezeného směru instalace. Jeho struktura je znázorněna na obrázku 1 .
Obr. 1 schematické znázornění struktury kryogenního čerpadla
1 - chladicí stůl prvního stupně; 2 - sekundární chladicí stůl; 3 - kryogenní kryt; 4 - stínící kryt; 5 - přepážka
První stupeň studeného stolu kryogenního čerpadla je opatřen krytem stínění a přepážkou a teplota je udržována na 80 K. Sekundární chladicí stůl je udržován na 15 K, na kterém je nastaven kryt s nízkou teplotou a adsorbent s aktivním uhlím.
Vodní pára tuhne na stínění 80K a přepážce 80K. Na kryogenní masce 15K tuhne dusík, kyslík a argon. Vodík, hélium a neon se adsorbují na adsorbent na vnitřní straně skříně s nízkou teplotou 15 K. Kryogenní čerpadlo může odvádět všechny plyny, ale pokud je absorbováno příliš mnoho plynu, rychlost výfukových plynů klesá. V tomto okamžiku musí být kryogenní čerpadlo zahříváno, aby se uvolnil adsorbovaný plyn a znovu použilo.
