Nevyvážený magnetronový naprašovací povlak

Nevyvážený magnetronový naprašovací povlak
Nevyvážené magnetronové rozprašování označuje nestejný magnetický tok magnetických pólů uvnitř a vně katody. Úlohou nevyváženého magnetického pole je zachytit rychle se pohybující sekundární elektrony unikající z povrchu cíle. Tyto elektrony ionizují s atomy neutrálního plynu daleko od povrchu cíle a produkují více iontů a více elektronů v oblasti substrátu, čímž se značně zvyšuje bombardování substrátu ionty. Díky rozvoji nevyváženého magnetronového naprašování se kvalita tenkých vrstev výrazně zlepšila.

Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail:iks.pvd@foxmail.com