dva typy naprašovacích povlaků
Aug 15, 2020| dva typy naprašovacích povlaků
Jeden se nazývá rozprašování iontovým paprskem, což se týká bombardování cílového povrchu iontovým paprskem ve vakuu, takže rozprášené částice mohou tvořit film na povrchu matrice. Tento proces je relativně drahý a používá se hlavně k výrobě speciálních filmů. Druhý se nazývá katodové naprašování, které hlavně POUŽÍVÁ fenomén nízkotlakého výboje plynu, aby se ionty v plazmovém bombardování cílového povrchu a nanášely rozprašovací částice na matrici. Přijímá strukturu elektrody rovnoběžné desky, velkým terčem vyrobeným z membránového materiálu je katoda, substrát nesoucí matrici je anoda a je nainstalován ve vakuové nádobě na zvonek. Aby se snížilo znečištění, tlak uvnitř zvonové nádoby se nejprve přečerpá na méně než L0-3 ~ 10-4pA a poté se naplní Ar k udržení tlaku na L ~ 10Pa. Pokovování rozprašováním se provádí přidáním tisíců voltů mezi póly.
Ve srovnání s depozicí odpařování nemá depozice naprašováním žádnou změnu fáze v cílovém materiálu (filmovém materiálu), složení sloučeniny je stabilní a slitina není snadno frakcionovatelná, takže filmový materiál vhodný pro přípravu je velmi široký. částice nanesené na substrát rozprašováním jsou 50krát vyšší než odpařování, mají na substrát čisticí a zahřívací účinek, takže film má silnou adhezi. Zejména je snadné řídit složení filmu rozprašovacím povlakem. Přímým naprašováním nebo reaktivním naprašováním mohou být rovnoměrně připraveny různé legované filmy, složené filmy, vícevrstvé filmy a kompozitní fólie s velkou plochou. Nanášení rozprašováním se snadno provádí kontinuální, automatický provoz a výroba ve velkém měřítku. Avšak díky použití vysokého napětí a plynu během naprašování je zařízení relativně složité a film je snadno ovlivňován rozprašovací atmosférou a rychlost depozice filmu je také nízká. Navíc rozprašovací povlak vyžaduje přípravu různých složek terče, nakládací a vykládací terč není vhodný, míra využití terče není vysoká.
Společnost IKS PVD, dekorativní nanášecí stroj, nanášecí stroj na nástroje, optický povlak mahcine, linka na vakuové nanášení PVD. Kontaktujte nás, e-mail: iks.pvd@foxmail.com
