Tvrdost filmu DLC

Tvrdost filmu DLC připraveného obloukovou metodou magnetické filtrační katody (FVCA) je podobná jako u diamantového filmu. Tvrdost filmu DLC připraveného metodou vakuové katodové obloukové metody (VCAD) je nad HV5000. Tvrdost DLC filmu připraveného magnetronovým naprašováním je obecně nižší než HV2000. Kromě toho proces depozice a doping také ovlivňují tvrdost DLC filmu. Správné předpětí, tlak a atmosféra mohou zlepšit tvrdost DLC filmu v různé míře. Většina experimentů ukazuje, že doping může snížit tvrdost DLC filmu v různé míře, ale někteří lidé si myslí, že začlenění Si může zlepšit tvrdost DLC filmu. DLC film má obecně velké vnitřní pnutí. Vnitřní pnutí nesouvisí pouze se strukturou a komponentami DLC filmu, ale má také velký vztah k procesu tvorby filmu. Například u H-DLC filmu má vnitřní napětí velký vztah k obsahu H. Při zachování vysoké tvrdosti filmu DLC může začlenění N, Si a některých kovových prvků snížit vnitřní pnutí. Vnitřní pnutí značně ovlivňuje vazebné vlastnosti DLC filmu a substrátu. Když je DLC film nanesen přímo na substrát, vazebná síla filmu je obecně špatná. Čím tenčí je DLC fólie, tím lepší je vazebná síla mezi fólií a substrátem. Kromě toho lze přilnavost DLC filmu zvýšit přidáním přechodové vrstvy mezi DLC film a substrát. Pokud se jako přechodová vrstva použije Cr, výrazně se zlepší vazba mezi membránou a substrátem. Různé suterénní páry přechodových vrstev se liší.

Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail: iks.pvd@foxmail.com