Systém ultravysokého vakua s iontovým rozprašováním bez oleje

Systém ultravysokého vakua s iontovým rozprašováním bez oleje
Obrázek 5-15 ukazuje koncepční schéma systému. Rozprašovací iontová vývěva je hlavní vývěvou a dvě vývěvy s molekulárním sítem se používají jako předčerpací vývěvy, z nichž jedno se používá k odstranění plynu pod atmosférickým tlakem ve vakuové komoře a rozprašovací iontové vývěvě a druhé odstraňte plyn uvolněný při spuštění pečení a iontové pumpy.

▲ Obrázek 5-15 Naprašovací iontová pumpa bezolejový systém ultravysokého vakua: 1-vakuová komora 2-BA vakuometr 3- Ventil ultravysokého vakua 4- ultra – vysokovakuový šoupátkový ventil 5-rozprašovací iontová pumpa 6- vysokovakuový ventil 7- vývěva s molekulárním sítem 8- termočlánkový vakuometr

Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail: iks.pvd@foxmail.com