Princip fungování PECVD - Tube P

PECVD Princip fungování - Tube P

Trubkový systém PECVD je řada generátorů využívajících potahovací čluny s paralelními deskami a nízkofrekvenční plazmové budiče. Při nízkých a vysokých teplotách plazmový generátor reaguje přímo v médiu namontovaném uprostřed potažené desky.

Výhody: Při procesu depozice, doprovázeném produkcí velkého počtu atomů vodíku a vodíkových iontů, je vlastnost pasivace vodíku křemíkovým plátkem velmi dobrá a poměr silanu k amoniaku lze měnit za účelem získání různých indexů lomu

Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail: iks.pvd@foxmail.com