Záležitosti, které potřebují pozornost při používání kryogenní pumpy
Feb 26, 2021| Záležitosti, které potřebují pozornost při používání kryogenní pumpy
Vliv tepelného zatížení kryogenního portu čerpadla
Tepelné zatížení populační bariéry kryogenního čerpadla se obecně vypočítá podle 300K plynu. Pokud je vstupní teplota kryogenního čerpadla příliš vysoká, měly by být použity některé metody k ochraně zdroje tepla. V opačném případě může teplota vstupní přepážky překročit 100 K, což přímo ovlivňuje teplotu adsorpčního pole a ovlivňuje zachycený plyn.2. Dopad náhlého výpadku proudu na provoz kryogenního čerpadla
Při nepřetržitém provozu kryogenní pumpy byla nasycena adsorpce hélia aktivním uhlím. Dojde-li na krátkou dobu k výpadku proudu, heliový plyn se uvolní, jakmile adsorpční pole couvnou. Vodní páry budou také odsoleny ze sekundární studené obrazovky a přepážky a adsorbovány adsorpčním polem. V tomto případě kryogenní čerpadlo potřebuje regenerační ošetření.
3. Čistota helia nízkoteplotního konfiguračního lisu systému
Lis na hélium musí být naplněn vysoce čistým argonem, který vyžaduje 99,999%. Neon je nejčastější nečistota, která může kondenzovat na nízkoteplotním povrchu primární a sekundární dutiny chladicí hlavy, což vede k opotřebení těsnění. Během údržby heliového lisu je třeba věnovat zvláštní pozornost metodě plnění hélia a vzduch by neměl být přiváděn, jinak bude potrubí zablokováno.
4. Vliv olejové mlhy na kryogenní čerpadlo
Použití kryogenního čerpadla, pokud je ve vakuové komoře zdroj plynu z ropné mlhy, znečišťuje aktivní uhlí v adsorpční matrici, takže ztrácí svou čerpací kapacitu. Při regeneraci kryogenního čerpadla je také nutné zabránit znečištění aktivním uhlím olejem.
5. Odstraňte nebezpečné plyny
Kryogenní čerpadlo by nemělo být používáno k odstranění nebezpečného plynu, po zachycení, uvolnění při regeneraci, ohrožení životního prostředí a osobní bezpečnosti.
6. Bezpečnostní ventil na nízkoteplotním systému
Při regeneraci kryogenního čerpadla se zachycený plyn někdy okamžitě uvolní v důsledku nárůstu teploty, což způsobuje zvýšení tlaku v kryogenní komoře čerpadla a ohrožuje bezpečnost čerpadla. Za tímto účelem musí být kryogenní čerpadlo instalováno s bezpečnostním ventilem, aby se uvolnil vzduch při přetlaku. Bezpečnostní ventil je třeba pravidelně kontrolovat. Velké vakuové systémy a kryogenní čerpadla mají někdy vysokou instalační výšku. Pro obsluhu není snadné pracovat a je třeba věnovat větší pozornost spolehlivosti bezpečnostního ventilu, jinak způsobí vážné nehody.
Společnost IKS PVD, dekorativní nátěrový stroj, stroj na nalačování nástrojů, optický nátěrový stroj, PVD vakuová nátěrová linka. Kontaktujte nás nyní, e-mail: iks.pvd@foxmail.com