Hlavní zařízení pro zpracování elektronového paprsku

Hlavní zařízení pro zpracování elektronového paprsku

Zařízení pro zpracování elektronovým paprskem sestává hlavně z následujících částí:

E lektorská zbraň

Zařízení pro získání elektronového paprsku, které zahrnuje:
1. Elektronová emisní katoda - vyrobená z wolframu nebo tantalu a emitující elektrony za podmínek zahřívání.
2, ovládání brány - nejen řídit sílu elektronového paprsku, ale také mají primární zaostřovací efekt.
3. Zrychlená anoda - obvykle uzemněná a protože katoda má vysoký podtlak, může pohánět elektrony k urychlení.

Vakuový systém

Zajistěte vakuum potřebné pro elektronické zpracování. Stupeň vakuového zpracování elektronovým paprskem je udržován na 1,33 × 10-2 ~ 1,33 × 10-4 Pa.

Řídicí systém a napájení

Řídicí systém zahrnuje ovládání zaostření paprsku, ovládání polohy paprsku, kontrolu síly paprsku a ovládání posunu stolu.
Ovládání zaostřování paprsku: zvyšuje hustotu energie elektronového paprsku, což určuje clonu nebo šířku švu v bodě zpracování.
Zaostřovací metoda: první, vysokonapěťové elektrostatické pole se používá k zaostření toku elektronů do jemného paprsku; Další metodou je použití „elektromagnetické čočky“ pro zaměření na magnetické pole.

Ovládání polohy paprsku: mění směr elektronů.
Řízení posunu stolu: ovládání polohy stolu během obrábění.
Napájení: požadavky na vysoké napětí, obvykle používané ke stabilizaci napájení.

IKS PVD Stroj na optické nanášení elektronovým paprskem ， IKS-OPT2700, Další podrobnosti, vítejte kontakt iks.pvd@foxmail.com