Difuzní čerpadlo
Apr 09, 2020| Difuzní čerpadlo
Jak všichni víme, olejové difúzní čerpadlo je druh čerpadla, které se často používá ve vysokém vakuu. Otázka tedy zní, jaké jsou metody? Metody jsou následující: zaprvé, výběr dobrého výkonu oleje difúzního čerpadla na mezním tlaku olejového difuzního čerpadla má velký dopad. Jestli ne. 3 se používá olej z difúzního čerpadla, konečný tlak může dosáhnout pouze 10-5pa; Při použití 275 silikonového oleje může konečný tlak dosáhnout 10 až 7pa a konečný tlak lze zvýšit o 2 řády. Za druhé, parciální tlak čerpaného plynu se také mění s rozdílem čerpaného oleje, což je vlivem složení čerpaného oleje. Proto musí být vybráno olejové difúzní čerpadlo s dobrým výkonem, aby bylo dosaženo velmi vysokého vakua. Protože olej difúzního čerpadla je tak důležitý, jak bychom si měli vybrat? Požadavky na difúzní čerpací olej jsou: relativní molekulová hmotnost čerpacího oleje, vysoký tlak par při pokojové teplotě, nízká tepelná stabilita a oxidační odolnost, bod tuhnutí a nízká teplota, nízká, netoxická, odolnost proti korozi, nízké náklady. Vysoko vakuové olejové difúzní čerpadlo obecně POUŽÍVÁ č. 3 difúzní pumpa olej, velmi vysoký vakuový silikonový olej USES, vyžaduje systém ultra vysokého vakua bez uhlovodíků, difuzní pumpa USES fluoro olej. Za druhé, použití rozumné pekárenské technologie olejové difúzní pumpy k získání ultravysokého vakuového systému by mělo být provedeno pečení při vysoké teplotě, účelem je snížit rychlost materiálu. Materiály v atmosféře mohou absorbovat a absorbovat nějaký plyn, když ve vakuu, bude produkovat desorpci, plyn se pomalu uvolňuje, aby se desorpce urychlila pomocí pečení.
Upéct? Zní to jednoduše, že? Ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne. Zásadou je, že vyšší teplota je lepší, může zrychlit vzduch, ale také zvážit, zda materiál odolá vysoké teplotě. Pečte při správné teplotě. Obvykle kovové materiály, jako je nerezová ocel, teplota pečení 250 ℃ - 450 ° C; Teplota pečení nekovových materiálů je 80 ℃ - 100 ℃ . Doba pečení nad 4h - 8h. Doba pečení extrémně vysokého vakua je více než 24 hodin. Výkon typického systému difúzního čerpadla kovového oleje (po pečení) a složek zbytkového plynu v ultra vysokém vakuovém systému difúzního čerpadla kovového oleje. Za třetí, přidejte zařízení pro zachycování chladu, abyste zabránili zpětnému toku oleje z čerpadla a přeneste olej z čerpadla přes vstupní tok čerpadla do jevu přečerpávané nádoby, který se nazývá zpětný tok. Fenomén molekul oleje pohybujících se podél stěny do přečerpávací nádoby se nazývá reverzní migrace. Zpětný tok i zpětná migrace ovlivňují konečný tlak vakuového systému. Chladič je široce používán v ultravysokém vakuovém systému, je instalován mezi vstupem čerpadla a vakuovou komorou, nejenže dokáže účinně zachytit zpětný tok páry difúzního čerpadla a řešení částečného rozdělení, ale také může odstranit páru z vakuová komora. Extrémně vysoký vakuový systém s různými pasti. Po důkladném pečení a odplynění při vysoké teplotě lze dosáhnout velmi vysokého vakua 10 až 108 Pa (nebo vyšší). Běžně používaný chladič je chladič kapalného dusíku, protože při teplotě kapalného dusíku je tlak par olejového čerpadla mnohem nižší než požadavky na velmi vysoké vakuum. Konstrukce chladicího jímače kapalného dusíku musí zajistit, aby molekuly procházející jímací pastou narazily na chladný povrch, a struktura musí být přiměřená. Po instalaci chladicího lapače kapalného dusíku se rychlost čerpání olejového difúzního čerpadla sníží maximálně o 40%.
Snížení zpětné difúze čerpaného plynu je jedním z faktorů, které omezují difúzní čerpadlo k dosažení ultra vysokého vakua. Antidifúze plynu souvisí s molekulovou hmotností. Čím menší je hmotnost, tím snazší je anti-difúze. Existují dva způsoby, jak zabránit zpětné difúzi vodíku v difúzním čerpadle: nejprve snížit tlak výfukových plynů na výstupu difuzního čerpadla pomocí dvou difuzních čerpadel v sérii k dosažení; Druhým je instalace lapače titanu sublimace chlazeného kapalným dusíkem na vstupní trubici difúzního čerpadla, aby zachytil antifúzní vodík.
IKS PVD Technology (Shenyang) Co., Ltd, výrobce PVD vakuového lakovacího stroje z Číny, hlavní produkt
obsahuje: dekorativní potahovací stroj, potahovací stroj, optický potahovací stroj, PVD potahovací linku. Kontaktujte nás nyní.E-mail: iks.pvd@foxmail.com
