Kombinovaný systém ultravysokého vakua

Kombinovaný systém ultravysokého vakua
U některých vakuových systémů se speciálními požadavky, jako jsou ty, které vyžadují jak ultravysoké vakuum, tak i bezolejové ultravysoké vakuum a zároveň splňují potřeby hrubého čerpání a vyrovnávají se s velkým množstvím plynu uvolněného během procesu, kombinovaný systém lze použít ke splnění požadavků. Obrázek 5-16 ukazuje schematický diagram vakuového systému bezolejového ultravysokovakuového lakovače. Hlavním čerpadlem je naprašovací iontová vývěva, která je vybavena titanovou sublimační vývěvou pro zlepšení stupně vakua a odstranění velkého množství plynu vznikajícího při odpařování materiálů. Maximální stupeň vakua může dosáhnout 6,67×10-7Pa. Čerpadlo s molekulárním sítem se používá jako předčerpací čerpadlo hlavního čerpadla. Kromě toho je systém vybaven také adsorpčním lapačem - mechanickou pumpou hrubý čerpací systém, kdy je tlak větší než 1333Pa, mechanickou pumpou není snadné vracet olej, vakuum přímo do vakuové komory s mechanickou pumpou, kdy tlak vakuové komory je nižší než 1333 Pa, mechanické čerpadlo přes adsorpční lapač 9 z obtokové vakuové komory.

▲ Obrázek 5-16 Schematický diagram vakuového systému bezolejového ultravysokého vakua: 1- vakuová komora 2- šoupátko pro ultravysoké vakuum 3- Rozprašovací iontová pumpa {{7} } titanová sublimační pumpa 5- ventil pro ultravysoké vakuum 6- vypouštěcí ventil 7- ventil pro vysoké vakuum 8- pumpa s molekulárním sítem 9- adsorpční lapač 10- mechanická čerpadlo

Společnost IKS PVD, dekorativní lakovací stroj, nástrojový lakovací stroj, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vakuová lakovací linka, projekt na klíč je k dispozici. Kontaktujte nás nyní, E-mail: iks.pvd@foxmail.com