Kombinovaný systém ultra vysokého vakua
Aug 30, 2021| Kombinovaný systém ultra vysokého vakua
U některých vakuových systémů se speciálními požadavky, jako jsou ty, které vyžadují ultra vysoké vakuum nebo ultra vysoké vakuum bez oleje, a zároveň splňují potřeby hrubého čerpání a dokážou si poradit s velkým množstvím plynu uvolněného během procesu, kombinovaný systém lze použít ke splnění požadavků. OBR. 1 ukazuje schematický diagram vakuového systému bezolejového ultra vysokého vakuového lakovacího stroje. Hlavní pumpou je naprašovací iontová pumpa, která je vybavena titanovou sublimační pumpou za účelem zlepšení stupně vakua a vypuštění velkého množství plynu produkovaného odpařováním materiálů. Maximální vakuum může dosáhnout 6,67 × 10-7 Pa. Předčerpávací čerpadlo s molekulárním sítovým čerpadlem jako hlavním čerpadlem. Kromě toho je systém také vybaven adsorpčním lapačem - mechanickým čerpadlem surového čerpacího systému, když je tlak vyšší než 1333 Pa, mechanické čerpadlo není snadné vrátit olej, mechanické čerpadlo přímo vysává vakuovou komoru, když tlak vakuová komora je nižší než 1333 Pa, mechanické čerpadlo přes adsorpční sifon 9 z obtokové vakuové komory.
1. Vakuová komora 2. Velmi vysoký vakuový šoupátkový ventil 3. Rozprašovací iontová pumpa 4. Titanová sublimační pumpa 5. Ultra vysoký vakuový ventil6. Uvolňovací ventil 7. Vysokotlaký ventil 8. Molekulární sítové čerpadlo 9. Adsorpční sifon 10. Mechanické čerpadlo
OBR. 1 Schematický diagram vakuového systému bezolejového ultra vysokého vakuového lakovacího stroje
Společnost IKS PVD, dekorační potahovací stroj, nástrojový lakovací stroj, optický lakovací stroj, vakuová lakovací linka PVD, je k dispozici projekt na klíč.Kontaktujte nás nyní, E-mail:iks.pvd@foxmail.com