Klasifikace zpracování iontového paprsku
Dec 04, 2019| Klasifikace zpracování iontového paprsku
Fyzickým základem zpracování iontového svazku je nárazový efekt, rozprašovací účinek a vstřikovací efekt, když iontový paprsek dopadne na povrch materiálu. Obvykle existují čtyři kategorie:
I na leptání
Když jsou pro bombardování povrchu obrobku použity argonové ionty s energií 0,1 ~ 5keV a průměrem několika desetin nanometru, energie převedená tímto vysokoenergetickým iontem převyšuje vazebnou sílu atomů (nebo molekul) na obrobku povrchy, atomy (nebo molekuly) na povrchu materiálu jsou rozprášeny jeden po druhém pro dosažení účelu zpracování. Toto obrábění je v podstatě proces řezání atomovým měřítkem, často označovaný jako iontové frézování.
Iontové leptání lze použít ke zpracování drážek vzduchových ložisek, děrovacích otvorů, zpracování extrémně tenkých materiálů a velmi přesných asférických čoček a lze také použít k leptání vysoce přesné grafiky integrovaných obvodů.
IKS PVD Stroj na optické nanášení elektronovým paprskem ， IKS-OPT2700, Další podrobnosti, vítejte kontakt iks.pvd@foxmail.com