Charakterizace stupně vakua, jednotky a rozdělení vakuové oblasti

Charakterizace stupně vakua, jednotky a rozdělení vakuové oblasti

IKS PVD, vyrábíme PVD zařízení pro vakuové nátěry, kontaktujte nás nyní, iks.pvd @ foxmail.come

Není příliš rozumné používat tlak na zastavení stupně vakua, který byl použit v historii měření vakua manometrem typu u.

Při obecném vakuovém systému se obvykle používá hydrostatické fyzikální množství izotropního neutrálního tlaku plynu k vyjádření stupně vakua. Měření stupně podtlaku se proto provádí pouze měřením tlaku. Zvláštní pozornost by však měla být věnována podmínkám měření, kterými jsou stacionární (náhodný pohyb), ustálený stav a izotropní jednobodový plyn v konečném kontejneru. V tomto případě jsou maximální rozložení rychlosti, cosinový rozptyl zákonů a koncept hydrostatického tlaku (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) poměrně konzistentní s objektivní skutečností, měření stupně vakua relativně jednoduché a snadné.

Podle definice stupně podtlaku je lepší vyjádřit stupně vakua molekulovou hustotou n a není to rozporuplné vyjadřovat stupeň vakua tlakem. Při měření tlaku je plyn obecně v rovnovážném stavu a vyhovuje maxwellově zákonu o distribuci rychlosti, tj. P = nkT je pravdivý. Teplota plynu je konstantní v době měření, takže tlak plynu p je úměrný molekulové hustotě n. Jinými slovy, tlak je měřítkem molekulární hustoty, takže vakuum lze vyjádřit jako tlak.

V kosmickém výzkumu je výzkumným objektem pohyb nekonečného prostoru (1 ~ 10 KMS - 1 nebo vyšší) a při působení komplexní nestálé a integrované atmosféry, zákon o rozdělení rychlostí a zákon o rozptylu kosinů nemusí nutně ztratil původní fyzický význam, takže tlak měření vakua je složitější a obtížnější.

Obecně je to populární a používá se k vyjádření stupně vakua tlakem, ale není to jediné. Následující parametry lze také použít k vyjádření stupně vakua:

Když je stupeň vákua velmi vysoký, tj. Je-li molekulární hustota velmi malá, je statistické kolísání velmi zřejmé. Například, když je tlak p = 10-12pa, je statistická fluktuace větší než 5krát 10-2 a tlak ztrácí svůj skutečný význam. V některých případech je tedy tlak pouze relativním ukazatelem jiných veličin .

1. Otázky a odpovědi

Vakuové jednotky?

Tlak plynu definovaný kolizí molekuly plynu na povrchu je rychlost časové změny vertikální složky hybnosti molekuly plynu, která se srazí s jednotkovou plochou povrchu, tj. Síla přijatá na jednotku plochy v Pascalu nebo Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

Ve strojírenství je někdy hodnota pa příliš malá, kPa a MPa se často používají k vyjádření tlaku. Nízký podtlak, někdy vyjádřený jako "procento vakua", jako je například vakuové čerpadlo s vodním kroužkem, vakuové čerpadlo s vratným vývěvem a rotační vakuové čerpadlo s přímým vzduchem, se často vyskytuje v tomto vakuu. Při tlaku p> 102Pa je procento vakua delta.

Kde: p0 - standardní atmosférický tlak, Pa

Vakuové zónování

S jednotkou pro měření stupně vakua lze kvantitativně vyjádřit stupně vakua. Dosavadní rozsah tlaku v podtlakové technologii však dosáhl 20 řádů, aby se usnadnilo používání, někdy je třeba pouze zhruba ukázat obecný rozsah stupně vakua, obvykle kvalitativně rozdělen do několika oblastí zhruba podtlaku . Fyzikální vlastnosti molekulárního pohybu plynů ve vakuu a efektivní pracovní rozsah vakuové pumpy a vakuometru jsou považovány za základ rozdělení oblastí.

Pokud jde o rozdělení vakuových oblastí v Číně, termíny vakuové technologie (gb3163-1982) stanoví následující:

Hrubé vakuum, nízký vakuum a vysoký podtlak se dělí podle průměrné volné dráhy molekul plynu v porovnání s charakteristickou velikostí d kontejneru. Hlavní pozornost je, zda srážka mezi molekulami plynu nebo kolize mezi molekulami plynu a stěnou zařízení hraje rozhodující roli při výskytu fyzikálních jevů.

Hranice mezi vysokým vakuem a ultra vysokým vakuem je nastavena na 10-6Pa. Hlavním důvodem je zvážit mechanismus fyzikální adsorpce podtlaku. Teprve tehdy, je-li tlak p <10-6pa zřejmý,="" může="" být="" získán="" difuzní="" pumpou="" pro="" extrakci="" a="" tlak="" je="" měřen=""> Pokud jde o hranici mezi ultra vysokým vakuem a ultra vysokým vakuem, je to proto, že při p <10-12 pa="" dochází="" k="" statistickému="" kolísání="" (větší="" než="" 5="" x="">

Výše uvedené oblasti podtlaku jsou rozděleny do oblastí reprezentujících rozsah tlaku, protože tlak je stále vyjádřen ve stupních. Avšak při nízkém vakuu, vysokém vakuu, velmi vysokém vakuu a velmi vysokém vakuu je uvedený tlak podstatně odlišný, pouze relativní indikace dalších veličin.

Fyzikální vlastnosti vakua, vakuového čerpadla a vakuového měřidla používané v každé oblasti jsou uvedeny v tabulce 1.

Při vývoji vakuové technologie se také změnilo rozdělení vakuových oblastí.